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중국 반도체 장비 기업들, 세미엑스포서 고사양 장비 공개하며 국산화 가속

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중국 세미엑스포에서 AMEC는 고사양 마이크로 가공 장치 2종을, 나우라 테크놀로지는 중빔 이온 주입기를 공개했다. 파이오텍은 Ru 초박막 공정용 ALD 및 PVD 장비인 iMagtron 시리즈를 선보이며 ALD, CVD, PVD 전 공정 라인업을 확보했다.

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